源表是什么？一臺儀器頂四臺，電子測試界的“多面手”
2026年03月17日 12:00上一篇文章小編為大家?guī)砹巳绾斡迷幢懋嫵隹蓯鄣男⊥米?，沒想到卻收到很多工程師朋友的疑問：“什么是源表？”今天小編就在這篇文章中為大家做一個簡單的介紹！
一、SMU｜什么是源表SMU?
源表（Source Meter Unit， SMU）廣泛用于半導(dǎo)體器件、材料、醫(yī)療、發(fā)光器件與光通信等行業(yè)，測量器件的伏安（I-V）特性曲線、絕緣材料的電阻值（電阻率）、電容的絕緣電阻（漏電流）、光電器件的暗電流或者L-I-V等。
源表SMU的名稱已經(jīng)清晰的告訴我們，它包含了高精度電源輸出和測量， 但它僅僅是電源和萬用表的簡單拼湊嗎？為了簡要說明這個問題， 我以下列出了源表的幾個典型的應(yīng)用場景：
二、SMU｜源表的四種功能
通常源表SMU都具備電壓源 Vs、電流源 Is、電流源 IM、電壓表 VM四種功能，而且能夠任意搭配激勵源和測量功能，按照被測DUT特征選擇對應(yīng)的模式。如下圖所示，
三、SMU｜源和測量的組合
與直流電源稱輸出端子V+、V-不同，源表SMU通常將源的輸出端子稱為High Force、Lower Force。因此，源和測量的組合有：VFIM、VFVM、IFVM、IFIM （V/I激勵F + V/I測量M）。
在電壓和電流形成的直角坐標(biāo)系中，按照電壓V的正負(fù)和電流I的正負(fù)，可以得到上圖 V/I的四個象限，大部分源表可以工作在任意的象限。
四、SMU｜高性能精密源表
高性能精密源表，內(nèi)置波形發(fā)生器功能，配合強(qiáng)大的觸發(fā)機(jī)制、可輕松實現(xiàn)直流、脈沖、掃描以及任意自定義波形激勵。
需要注意的是，源表SMU的脈沖電壓和電流最小脈沖寬度、 上升/下降沿的典型指標(biāo)，以 Keysight B2900系列源表為例， 可以到達(dá) 10A/100uS級的電流脈沖、 或 210V/1mS級的電壓脈沖。
五、SMU｜源表測量注意事項
源表的精度固然極高， 但在脈沖激勵或IV掃描時，如果不明確被測件的特性， 就很有可能測量結(jié)果與真實值存在非常大的偏差。
如下圖所示，當(dāng)測量點為藍(lán)色圓圈區(qū)域時，測量結(jié)果偏離實際響應(yīng)點； 響應(yīng)隨機(jī)波動或存在噪聲，需要增大測量積分時間消去波動或噪聲影響。
因此，精確測量出被測件DUT在激勵下的電壓和電流響應(yīng)波形是非常重要!
下圖顯示簡化的 SMU 等效電路: